光芯薄膜(深圳)有限公司
描述
· 超硬减反射膜
· 超耐刮擦减反射膜
· AR/VR领域
· AR-HUD领域
· 精密光学领域
· 太阳能电池领域
· 电致变色领域
· 先进封装
· TGV/RDL
描述
真空及应用

· 理论

· 仿真与模拟

· 经验积累

阴极、离子源

· 仿真与模拟、

工程验证

多种真空加热方案

· 仿真与模拟、

工程验证

非正态分布布气系统

· 仿真与模拟、

工程验证

真空设备主轴系统

· 高速

· 加热与水冷一体

真空机械手

· 真空设备内

自动换料系统

多平台设备研发

· 4-18寸工件、

往复inline、R2R

圆形工件光学镀膜

· 专利

结构与装置
STRUCTURE & DEVICE
描述
操作系统及软件

· 根据采集状态,智能处理

· 自动化,一键镀膜

· 可扩展性工业4.0接口

· 自动膜系设计软件

在线膜厚控制

· 晶控

· 光控

RGC

· (等离子体辉光、靶电压、

氧分压)反馈控制系统

数据采集

· 各种状态监控

· 分析处理

Roll to Roll

· 同步、纠偏、张力控制、冷却

多轴控制器

· 自研自制

控制系统及子系统
CONTROL SYSTEM & SUBSYSTEMS